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华林科纳自主研制的主动供液体系(SDS)介绍仅供参考

时间: 2024-10-18 19:48:35 |   作者: 必发娱乐24小时官网

  主动供液体系(SDS)是一套由多种液体化学品供给设备组成的体系,这些设备主要是选用重力、力量或泵力为驱动力,经过管道将液体化学品运送到运用点,完成接连、安全、牢靠的供给。

  华林科纳供液体系供给的slurry40种,chemical20种,Fab60,90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB,在最新的14-28nm FAB里,有超越200套的供液体系成绩。产品全面临标世界抢先产品,取得国内外头部客户的认可。

  主要用途:本体系设备主要以本地供给方法来供给制程所需之清洗液,包含研磨液原物料运送、混合稀释、循环供给功用及工作测验等

  1. 五颜六色人员操作界面, Proface 10”触摸屏,操作画面规划个性化定制;

  2. DI & DO 皆额定供给衔接/省配线的 I/O 继电器终端模块, 继电器型式, 可拔插;

  1. 质料桶内具有加湿功用湿度大于95%, 俱备泄压阀的安全保护装置 规划;

  4. 200L 质料抽取快速装置接头组, 输出、回流、Wet N2, 3 管会集于一 ;

  3. 具有额定的液面 HH 反常&底部液体排空侦测报警功用,传感器附感应度调整功用 ;

  1.药液体系最大可供给CMP机台数及供给点,最大可对应2台CMP或以上,(每台CMP的药液运用流量不小于0.6升/分钟。

  5.药液配比速度:大于3升/分钟(配比时刻包含清洗,循环,拌和,谐和时刻).

  主动供液体系(SDS)是一套由多种液体化学品供给设备组成的体系,这些设备主要是选用重力、力量或泵力为驱...

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